本書體系嚴密，深入淺出，將基本概念、工藝技術、典型器件和系統(tǒng)應用相結合，使讀者能夠全面地理解和掌握微納制造與微機電系統(tǒng)相關知識。全書共8章，第1章概述MEMS的定義、特點、制造技術、發(fā)展歷程與未來發(fā)展趨勢；第2、3章分別介紹體硅和表面微加工技術的原理、流程、常見問題與解決方法；第4章闡述近年來體硅和表面硅工藝在MEMS

機械工業(yè)出版社本書是全國高等教育自學考試指導委員會組編教材，是為適應自學考試機械電子工程（專升本）、機電一體化技術（專科）等專業(yè)的學生學習“機械工程控制基礎”課程而修訂和編寫的。本次修編主要基于2012年版本，理論體系上仍然只保留了經(jīng)典控制理論的內容，在闡明經(jīng)典控制理論的基本概念、基本理論和基本方法的基礎上，對全書內容

本書在總結分布式復雜機電系統(tǒng)的特征和當前存在的問題的基礎上，在系統(tǒng)建模、系統(tǒng)安全資源優(yōu)化配置和故障溯源3方面對若干關鍵技術進行了研究，主要包括面向對象的有向無環(huán)圖建模研究、有向無環(huán)圖模型節(jié)點粒度的變換研究、分布式復雜機電系統(tǒng)安全資源優(yōu)化配置研究、基于貝葉斯網(wǎng)絡的分布式復雜機電系統(tǒng)故障溯源和網(wǎng)絡模型自動生成算法。本書既具

"本書重點介紹現(xiàn)代控制理論。以線性定常連續(xù)系統(tǒng)作為研究對象，介紹系統(tǒng)與狀態(tài)空間模型（第二章）、控制系統(tǒng)狀態(tài)空間模型的解（第三章）、穩(wěn)定性與李雅普諾夫方法（第四章），線性定常連續(xù)系統(tǒng)的能控性和能觀性（第五章）、狀態(tài)反饋與狀態(tài)觀測器（第六章）以及線性系統(tǒng)的實現(xiàn)（第七章），此外還補充了必要的數(shù)字控制基礎知識（第八章），并以無

本書主要介紹如何應用先進的建模與控制方法來實現(xiàn)機電系統(tǒng)的動力學建模、分析與控制。全書共分為7章，前2章介紹建模與控制的理論知識，后5章介紹工程案例應用。第1章對機電系統(tǒng)動力學的建模與分析方法進行介紹；第2章介紹先進的運動控制與振動控制方法；第3章介紹塔式起重機吊掛運載應用，控制目標是使塔式起重機高速運載下保持吊掛負載振

本書共分9章，第1章為機電一體化概述；第2章為機電一體化系統(tǒng)數(shù)學建模；第3章為機電一體化系統(tǒng)自動控制技術；第4章為機電一體化系統(tǒng)檢測技術；第5章為機電一體化驅動系統(tǒng)；第6章為機電一體化系統(tǒng)計算機控制技術；第7章為機電一體化系統(tǒng)通信技術；第8章為機電一體化系統(tǒng)抗干擾技術；第9章為機電一體化系統(tǒng)工程實例。

書中詳細闡述了嵌入式系統(tǒng)的設計、開發(fā)方法，從最初的概念(機械和電氣)到建模和仿真(數(shù)學關系)，再到創(chuàng)建圖形用戶界面(軟件)及其實際執(zhí)行(機電一體化系統(tǒng)測試)，從而實現(xiàn)對機器人航行器的控制，為使用標準PC硬件的實時系統(tǒng)的原型開發(fā)、仿真、測試和設計提出新的解決方案。

機電設備控制技術 董建榮 李彩風

本書從虛擬調試的基本概念出發(fā)，通過實際案例，深入淺出地介紹了NX-MCD與虛擬PLC、虛擬數(shù)控系統(tǒng)和虛擬機器人控制器之間的聯(lián)合虛擬調試。主要內容包括：數(shù)字化虛擬調試仿真、數(shù)字樣機建模、單機設備虛擬調試仿真，新能源動力電池的激光清洗設備、涂膠裝配、產(chǎn)線虛擬調試，以及數(shù)字鏡影技術與數(shù)字孿生技術等。本書適合制造型企業(yè)、智能制

本書為工業(yè)和信息化部“十四五”規(guī)劃教材，“十二五”普通高等教育本科國家級規(guī)劃教材。本書從“系統(tǒng)”的角度，對組成產(chǎn)品機械系統(tǒng)的元、部件和微機控制系統(tǒng)的元(器)件的工作原理、特點、選用原則與方法進行了論述，對靜態(tài)、動態(tài)特性進行了簡要分析，并從機電一體化的角度對系統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)設計與動態(tài)設計方法作了較詳細的介紹，并列舉了設計實例。