第1章 電子在固體中的輸運(yùn)
1．1 電子束與固體的相互作用
1．2 電子能量損失峰
1．3 俄歇電子峰
1．4 二次電子峰
1．5 材料的表征
1．6 小結(jié)
參考文獻(xiàn)

第2章 散射截面：基本原理
2．1 散射截面和散射概率
2．2 阻止本領(lǐng)和非彈性散射平均自由程
2．3 射程
2．4 能量歧離
2．5 小結(jié)
參考文獻(xiàn)

第3章 散射機(jī)制
3．1 彈性散射
3．1．1 Mott散射截面與屏蔽盧瑟福散射截面
3．2 準(zhǔn)彈性散射
3．2．1 電子-聲子相互作用
3．3 非彈性散射
3．3．1 阻止本領(lǐng)：Bethe-Bloch公式
3．3．2 阻止本領(lǐng)：半經(jīng)驗(yàn)公式
3．3．3 介電理論
3．3．4 Drude函數(shù)之和
3．3．5 極化子效應(yīng)
3．4 非彈性散射平均自由程
3．5 界面現(xiàn)象
3．6 小結(jié)
參考文獻(xiàn)

第4章 隨機(jī)數(shù)
4．1 偽隨機(jī)數(shù)的產(chǎn)生
4．2 偽隨機(jī)數(shù)發(fā)生器的測(cè)試
4．3 基于給定概率密度的偽隨機(jī)數(shù)分布
4．4 區(qū)間〔a，b〕內(nèi)均勻分布的偽隨機(jī)數(shù)
4．5 基于泊松概率密度的偽隨機(jī)數(shù)分布
4．6 基于高斯概率密度的偽隨機(jī)數(shù)分布
4．7 小結(jié)
參考文獻(xiàn)

第5章 蒙特卡羅策略
5．1 連續(xù)慢化近似
5．1．1 步長(zhǎng)
5．1．2 沉積層與襯底的界面
5．1．3 散射極角
5．1．4 上一次偏轉(zhuǎn)后電子的方向
5．1．5 能量損失
5．1．6 軌跡的結(jié)束和軌跡的數(shù)目
5．2 能量歧離策略
5．2．1 步長(zhǎng)
5．2．2 彈性和非彈性散射
5．2．3 電子-電子散射：散射角
5．2．4 電子-聲子散射：散射角
5．2．5 上一次偏轉(zhuǎn)后電子的方向
5．2．6 透射系數(shù)
5．2．7 與表面距離相關(guān)的非彈性散射
5．2．8 軌跡的結(jié)束和軌跡的數(shù)目
……
第6章 背散射系數(shù)
第7章 二次電子發(fā)射系數(shù)
第8章 二次電子能量分布
第9章 應(yīng)用
第10章 附錄A：Mott理論
第11章 附錄B：Frohlich理論
第12章 附錄C：Ritchie理論
第13章 附錄D：Chen、Kwei和Li等人的理論
索引