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硅基高k氧化物鍶硅界面緩沖層的研究
借助STM這個(gè)可以提供原子尺度結(jié)構(gòu)和電子態(tài)的有 力工具,《硅基高k氧化物鍶硅界面緩沖層的研究》對(duì)Sr/Si體系進(jìn)行了深入的研究,主要 分為以下3個(gè)部分:(1)第一部分:Si(100)襯底上的 Sr/Si再構(gòu);(2)第二部分:Si(111)襯底上的Sr/Si 再構(gòu);(3)第三部分:超薄SrTiO3膜的高溫晶化。
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