本書以作者攻讀博士學(xué)位期間承擔(dān)相關(guān)課題的工作為基礎(chǔ)，圍繞飛秒激光微器件制備質(zhì)量優(yōu)化中的若干問題，系統(tǒng)闡述了像差補(bǔ)償、加工光斑三維整形以及掃描步距優(yōu)化等方面的理論與實(shí)驗(yàn)研究。全書共分為七章，內(nèi)容包括飛秒激光微加工領(lǐng)域國內(nèi)外研究的現(xiàn)狀、飛秒激光雙光子微加工機(jī)理及系統(tǒng)、空氣和被加工材料折射率不同對(duì)微加工的影響及其補(bǔ)償方法、飛秒激光微加工焦點(diǎn)光斑的三維整形、掃描步距對(duì)微器件表面質(zhì)量的影響及其優(yōu)化方法等。本書適合從事飛秒激光微加工研究的工程技術(shù)人員和科研人員使用和參考。