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高溫SiC MEMS傳感器的熱電特性 
定 價(jià)：88 元
9 7 7 8 2 7 4 0 8 3 9 0 2 讀者對(duì)象:MEMS高溫傳感器及SiC材料領(lǐng)域的高年級(jí)本科生、研究生專(zhuān)業(yè)課程教材或參考書(shū)目，也可供從事微電子、微機(jī)械研究的科研人員參考閱讀
本書(shū)主要介紹了碳化硅(SiC)傳感器在高溫下熱電特性的研究進(jìn)展。本書(shū)可分為三部分，共七章。第一部分從單層SiC和多層SiC的熱阻效應(yīng)、熱電效應(yīng)、熱電子效應(yīng)和熱電容效應(yīng)等物理效應(yīng)方面來(lái)介紹SiC的熱電特性；第二部分介紹了SiC的諸多重要特征以及SiCMEMS的制造流程，總結(jié)了SiC傳感器、熱流傳感器和對(duì)流慣性傳感器的**進(jìn)展；第三部分論述了SiC熱電傳感器的應(yīng)用前景。
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