本書全面系統(tǒng)地介紹了精密納米計量的相關知識，重點講述了精密納米制造中測量角度和位移的光學傳感器，提出了改善傳感器靈敏度和帶寬，減小傳感器尺寸的技術，并開發(fā)了新的多軸傳感方法；同時，詳細介紹了精密納米計量中用于表面形狀和平臺運動的掃描型測量系統(tǒng)，闡述了納米制造中最基本的幾何形狀的測量誤差分離算法和系統(tǒng)；最后對微觀非球面的測量，納米制造中微納結(jié)構(gòu)的精密納米計量，以及長結(jié)構(gòu)的微觀尺寸的快速、準確測量等進行了介紹。