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陰極弧——從分形弧斑到荷能凝聚 本書是一本致力于陰極弧物理學(xué)及其加工工藝的專著。該書從人類認(rèn)識電弧的歷史開始,對明極放電現(xiàn)象進(jìn)行了詳盡介紹。之后,作者沿者時間演化與技術(shù)的發(fā)展路線,逐步論述到該技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀。在涉及基本的等離子體物理學(xué)的同時,對涂層工藝中十分棘手的“大顆!薄⒌入x子體源等實際問題,也進(jìn)行了著重分析,并給出了一系列實用的等離子體過濾器的解決方案。 本書中的理論與數(shù)據(jù),對從事陰極弧涂層沉積的科學(xué)技術(shù)人員具有重要的參考價值。本書也可以作為表面涂層相關(guān)專業(yè)研究生的教學(xué)參考書。
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