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集成微納系統(tǒng)的前沿技術 21世紀微電子學專業(yè)規(guī)劃教材 微電子學是一門發(fā)展十分迅猛的學科,同時也是與新興的納米技術等結合十分緊密的交叉學科,因此越來越具有在尺度上是跨微米向納米甚至是深亞納米發(fā)展、在功能上是向著電子、機械以及生物等系統(tǒng)功能的集成方向發(fā)展,同時這也是一門十分典型的實驗學科,需要結合大量的實驗動手才能夠掌握其精髓。所以我們的課程是《集成微納系統(tǒng)實驗班》,這本教材和課程的主旨一樣:主要針對微電子學的發(fā)展及時補充完善微電子學的范疇、同時結合實驗教程來增進學生的感性認識、培養(yǎng)學生的動手能力,彌補絕大多數(shù)同類教材只講授知識、不關注實驗能力且不及時更新其發(fā)展、不配有相應習題的不足,為學生和老師提供一本能夠全面準確掌握微電子基礎知識和能力的教科書。
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