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硅微機械陀螺誤差建模理論與方法 
定 價：150 元 叢書名：無
9 7 7 8 3 7 9 0 4 3 9 0 0 讀者對象:微機電系統(tǒng)工程(MEMS)，傳感芯片技術(shù)，微型角速率傳感器等專業(yè)技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)研究及工程應(yīng)用人員
本書共9章，以硅微機械陀螺為研究對象，通過數(shù)學(xué)物理方程推導(dǎo)微機電系統(tǒng)宏模型，采用對稱拓撲設(shè)計微機械陀螺結(jié)構(gòu)，制訂簡單、高效的工藝加工微機械陀螺，根據(jù)精密控制、電學(xué)知識設(shè)計微機械陀螺測控電路，從而闡明硅微機械陀螺誤差產(chǎn)生機理，并為減小誤差提供研究思路。本書內(nèi)容新穎，簡明扼要。
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