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金剛石膜的應(yīng)用與拋光技術(shù)

金剛石膜的應(yīng)用與拋光技術(shù)

定  價(jià):188 元

        

  • 作者:苑澤偉
  • 出版時(shí)間:2023/5/1
  • ISBN:9787030738448
  • 出 版 社:科學(xué)出版社
  • 中圖法分類:TB43 
  • 頁碼:328
  • 紙張:
  • 版次:31
  • 開本:B5
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讀者對(duì)象:機(jī)械相關(guān)專業(yè)的研究生、科研人員、相關(guān)企業(yè)技術(shù)開發(fā)人員、從事相關(guān)教學(xué)的教師和學(xué)生。

金剛石作為第四代半導(dǎo)體材料,具有極其優(yōu)越的物理化學(xué)特性,在諸多高科技領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。金剛石拋光技術(shù)的研究不但突破了金剛石在高科技領(lǐng)域的應(yīng)用瓶頸,還帶動(dòng)了一些新工藝、新方法和新技術(shù)的發(fā)展。本書以作者多年的科研成果為基礎(chǔ),匯集國內(nèi)外金剛石領(lǐng)域的**進(jìn)展,全面系統(tǒng)地對(duì)金剛石應(yīng)用和拋光技術(shù)的重要成果進(jìn)行了歸納和總結(jié),內(nèi)容主要包括:金剛石的結(jié)構(gòu)及性能,金剛石膜的應(yīng)用,金剛石膜的制備技術(shù),金剛石膜的去除機(jī)理與拋光理論,金剛石膜的機(jī)械拋光技術(shù)、摩擦化學(xué)拋光技術(shù)、化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)、光催化輔助拋光技術(shù)及特種拋光技術(shù),金剛石相關(guān)材料應(yīng)用及加工技術(shù)。

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