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傳感器與MEMS技術(shù)導(dǎo)論 讀者對(duì)象:傳感器技術(shù)人員
本書按照材料、基本概念、專業(yè)知識(shí)的分類。將說涉及應(yīng)該簡(jiǎn)要講解的內(nèi)容共寫成12章。內(nèi)容包括敏感材料和與物理效應(yīng),傳感器的分類、特性與建模仿真,力、扭矩與慣性傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),熱工量中壓力、流量、溫度的測(cè)量與傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),光、輻射與圖像傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),磁學(xué)傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),聲學(xué)量傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),化學(xué)、電化學(xué)與氣體傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),生物與離子傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),機(jī)器人傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),微系統(tǒng)MEMS工藝技術(shù)與封裝及可靠性,傳感器與微系統(tǒng)的典型應(yīng)用。
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