第1章  納米尺度線寬（CD）測量
1.1  概述
1.1.1  納米尺度線寬（CD）測量研究的應(yīng)用背景
1.1.2  Nano  1線寬測量國際比對項目
1.1.3  常用的線寬測量技術(shù)和方法簡介
1.1.4  納米線寬（CD）測量的研究現(xiàn)狀
1.1.5  目前線寬測量工具存在的缺點(diǎn)與不足
1.2  原子力顯微鏡AFM及其在線寬測量中的應(yīng)用
1.2.1  原子力顯微鏡概述
1.2.2  AFM在線寬測量中的應(yīng)用
1.2.3  原子力顯微鏡的最新發(fā)展
1.3  線寬的測量模型與算法
1.3.1  基于最小二乘法原理的測量模型
1.3.2  基于最小二乘模型的測量結(jié)果分析
1.3.3  使用不同探針測量結(jié)果的比較
1.4  掃描圖像數(shù)據(jù)的分析及誤差修正
1.4.1  探針膨脹作用的消除
1.4.2  掃描圖像的濾波去噪
1.4.3  樣本傾斜位置的修正
1.5  線寬測量誤差及不確定度分析
1.5.1  不確定度的估計與合成
1.5.2  線寬的計算及誤差修正
1.5.3  線寬測量的不確定度分析
1.5.4  實(shí)驗與不確定度值的估算
1.6  雙圖像拼接法的研究
1.6.1  雙圖像拼接法的提出
1.6.2  剛體的空間位置變換
1.6.3  掃描圖像的匹配
1.6.4  圖像的插值和擬合
1.6.5  實(shí)驗與結(jié)果分析
參考文獻(xiàn)
第2章  納米尺度邊緣粗糙度（LER）測量
2.1  概述
2.1.1  納米尺度邊緣粗糙度（LER）測量的研究背景
2.1.2  線邊緣粗糙度的研究內(nèi)容及其發(fā)展
2.1.3  線邊緣粗糙度測量技術(shù)的研究現(xiàn)狀
2.1.4  線邊緣粗糙度測量的關(guān)鍵問題分析
2.2  線邊緣粗糙度的定義及其表征參數(shù)的研究
2.2.1  線邊緣粗糙度測量的需求分析
2.2.2  線邊緣粗糙度的定義研究
2.2.3  線邊緣粗糙度的表征參數(shù)
2.3  基于AFM的線邊緣粗糙度測量模型
2.3.1  測量樣本與測量條件
2.3.2  線邊緣粗糙度測量模型的建立
2.3.3  測量結(jié)果與分析
2.4  線邊緣粗糙度的多尺度表征方法研究
2.4.1  線邊緣粗糙度特性分析
2.4.2  基于冗余第二代小波變換的LER多尺度表征
2.4.3  隨機(jī)輪廓仿真與分析
2.4.4  測量結(jié)果與分析
2.5  AFM測量線邊緣粗糙度影響因素的研究
2.5.1  探針對掃描圖像的影響
2.5.2  AFM掃描圖像噪聲的影響
2.5.3  壓電晶體驅(qū)動精度的影響
2.5.4  掃描采樣間隔的影響
參考文獻(xiàn)
第3章  納米尺度微力、楊氏模量和剛度測量
3.1  概述
3.1.1  納米尺度力學(xué)量測量的研究意義和背景
3.1.2  AFM在納米尺度力學(xué)測量中的應(yīng)用狀況
3.1.3  微懸臂梁制造與應(yīng)用狀況
3.1.4  微懸臂梁剛度測量的研究現(xiàn)狀
3.2  微懸臂梁頻率響應(yīng)特性研究
3.2.1  微懸臂梁振動分析
3.2.2  基于有限元法的微懸臂梁頻率響應(yīng)特性仿真
3.2.3  楊氏模量與離面彎曲固有頻率關(guān)系模型
3.3  流體環(huán)境對微懸臂梁頻率響應(yīng)影響研究
3.3.1  簡化分析法
3.3.2  微懸臂梁尺寸效應(yīng)和流固耦合效應(yīng)
3.3.3  簡化氣彈模型方法
3.3.4  計算流體力學(xué)方法
3.4  微懸臂梁剛度測量方法研究
3.4.1  微懸臂梁楊氏模量測試
3.4.2  微懸臂梁剛度測量
3.4.3  剛度測量結(jié)果與分析
3.5  微懸臂梁剛度校正
3.5.1  安裝傾斜角對剛度的影響分析
3.5.2  針尖位置對微懸臂剛度的影響分析
3.5.3  接觸剛度對微懸臂梁剛度影響的分析
3.5.4  面內(nèi)變形對剛度的影響分析
3.5.5  等效剛度綜合校正
參考文獻(xiàn)
第4章  微納尺度固液界面邊界條件測量
4.1  概述
4.1.1  研究背景
4.1.2  疏水表面納米氣泡研究進(jìn)展
4.1.3  固液界面邊界滑移研究進(jìn)展及其測量技術(shù)
4.1.4  納米氣泡與邊界滑移關(guān)系研究進(jìn)展
4.1.5  納米氣泡與邊界滑移研究中存在的問題
4.2  聚苯乙烯表面納米氣泡AFM成像
4.2.1  改進(jìn)的液體中微懸臂夾持器
4.2.2  聚苯乙烯表面納米氣泡特征
4.2.3  影響納米氣泡成像掃描參數(shù)
4.2.4  力調(diào)制模式下探針與納米氣泡的相互作用研究
4.3納米氣泡產(chǎn)生納米凹痕的機(jī)理研究
4.3.1  納米氣泡存在對聚苯乙烯表面的影響
4.3.2  疏水表面納米凹痕形成
4.3.3  納米凹痕形成機(jī)理
4.4表面納米結(jié)構(gòu)提高納米氣泡非移動性研究
4.4.1  納米尺度動態(tài)接觸角測量技術(shù)
4.4.2  納米氣泡非移動性理論模型
4.4.3  納米氣泡非移動性實(shí)驗驗證
4.5  固液界面滑移長度測量方法的研究
4.5.1  納米氣泡與邊界滑移關(guān)系模型
4.5.2  實(shí)驗裝置及樣品制備
4.5.3  接觸模式AFM滑移長度的測量
4.5.4  敲擊模式AFM滑移長度的測量
4.5.5  納米氣泡與邊界滑移關(guān)系的實(shí)驗驗證
參考文獻(xiàn)
附錄作者發(fā)表的與本書相關(guān)的文章  目錄
術(shù)語索引