本書對微納機電系統(tǒng)與微納傳感器領(lǐng)域的主要技術(shù)進行了分類闡述，全面總結(jié)了技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀，客觀分析了技術(shù)的發(fā)展態(tài)勢，從學科的發(fā)展規(guī)律和研究特點出發(fā)，前瞻性地思考了技術(shù)的發(fā)展思路與發(fā)展方向，提出了我國發(fā)展該學科的資助機制與政策建議。

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