前言
第1章 微機電系統(tǒng)概述
1.1 引言
1.1.1 多年來的期盼
1.1..2 發(fā)生在20世紀90年代的故事
1.2 小機械，大機會
1.
2.1 三十年的積累
1.
2.2 
第一個豐收的季節(jié)
1.
2.3 微型科技發(fā)展的動力
1.
2.4 小機械包含著大課題
1.3 什么是微機電系統(tǒng)
1.
3.1 微機電系統(tǒng)的定義
1.
3.2 微機電系統(tǒng)的尺寸
1.
3.3 微型機械與微電子和普通機械的差異
1.3 本書內(nèi)容
1.3 有關(guān)的刊物、會議和網(wǎng)站參考文獻
第2章 微機電系統(tǒng)的制作（上）
2.1 引言2.
1.1 微細機械加工的特點2.
1.2 關(guān)于加工單位的概念2.
1.3 常用的微細加工方法的分類
2.2 微型機械中使用的IC工藝2.
2.1 IC工藝的概況
2.2.2 IC工藝的主要步驟
2.3 硅微結(jié)構(gòu)制作工藝
2.
3.1 體微機械加工技術(shù)
2.
3.2 鍵合技術(shù)
2.
3.3 表面微機械加工技術(shù)
2.
3.4 封裝參考文獻
第3章 微機電系統(tǒng)的制作（下）
3.1 傳統(tǒng)的超精密加工方法的概述3.
1.1 微細磨削加工3.
1.2 微細磨料加工3.
1.3 微細放電加工3.
1.3 金屬絲放電磨削加工
3.2 特種加工工藝3.
2.1 激光束微細加工技術(shù)3.
2.2 電子束微細加工技術(shù)3.
2.3 聚焦離子束（FIB）微細加工技術(shù)
3.3 LIGA工藝3.
3.1 概述3.
3.2 同步輻射X射線光刻
3.3.3 LIGA工藝流程
3.4 快速成型技術(shù)
3.5 用隧道顯微鏡進行微細加工
3.
5.1 隧道效應(yīng)與STM
3.
5.2 其他類型的隧道顯微鏡
3.
5.3 用隧道顯微鏡進行微細表面加工3.6 最近發(fā)展的微納米工藝3.
6.1 多光子吸收聚合技術(shù)（MAP）3.
6.2 質(zhì)子束刻寫參考文獻
第4章 常見的微型器件（上）--幾種典型的微傳感器及其工作原理
4.1 概述4.
1.1 定義4.
1.2 傳感器工作原理及應(yīng)遵循的法則和定律
4.2 傳感器分類和性能指標4.
2.1 傳感器的分類4.
2.2 傳感器性能的指標
4.3 微型力學傳感器及其工作原理4.
3.1 微型力（力矩）傳感器4.
3.2 微型壓力傳感器4.
3.3 微型加速度計4.
3.4 微型陀螺4.
3.5 微型觸覺傳感器
4.4 微型生物醫(yī)學傳感器4.
4.1 懸臂梁式生物傳感器4.
4.2 石英晶體微天平傳感器4.
4.3 光學生物傳感器
4.5 微型圖像傳感器
4.
5.1 CCD圖像傳感器
4.
5.2 具有三維結(jié)構(gòu)的固體圖像傳感器
4.6 化學傳感器
4.
6.1 氣敏傳感器
4.
6.2 電子鼻
4.
6.3 氣相色譜儀
4.7 微型傳感器的特點參考文獻
第5章 常見的微型器件（中）--幾種典型的微執(zhí)行器及其工作原理
5.1 常用微型執(zhí)行器的致動機理5.
1.1 靜電致動的機理5.
1.2 壓電致動的機理5.
1.3 熱致動的機理5.
1.3 形狀記憶合金致動的機理5.
1.3 電磁致動的機理
5.2 幾種典型的微型執(zhí)行器5.
2.1 微馬達5.
2.2 微型閥5.
2.3 微型泵5.
2.4 其他微致動機構(gòu)
5.3 微型執(zhí)行器的特點和比較參考文獻
第6章 常見微型器件（下）--幾種典型的微結(jié)構(gòu)和微系統(tǒng)
6.1 微結(jié)構(gòu)
6.1.1 微型鉸鏈、微型軸承
6.1.2 微型彈簧
6.1.3 微型繼電器、微型保險絲6.
1.3 微探針6.
1.3 微型人工細胞融合系統(tǒng)
6.1.6 仿壁虎粘附陣列
6.2 微型機構(gòu)6.
2.1 微型連桿傳動機構(gòu)6.
2.2 微型齒輪傳動機構(gòu)6.
2.3 微型鏈傳動機構(gòu)6.
2.4 微型平行四邊形機構(gòu)6.
2.5 微型梳狀機構(gòu)
6.2.6 柔性機構(gòu)（微型機器人的手和腳）
6.3 微系統(tǒng)6.
3.1 微型數(shù)字顯示器6.
3.2 微光纖開關(guān)系統(tǒng)6.
3.3 生物芯片實驗室6.
3.4 納衛(wèi)星6.
3.5 微型飛行器
6.3.6 微型化學反應(yīng)系統(tǒng)……
第7章 微檢測技術(shù)
第8章 微機電系統(tǒng)相關(guān)的固體力學基礎(chǔ)知識
第9章 微機電系統(tǒng)的設(shè)計和建模
第10章 微尺度流體力學的相關(guān)基礎(chǔ)知識
第11章 微尺度傳熱基礎(chǔ)知識參考文獻