《微米納米器件測(cè)試技術(shù)》在總結(jié)國(guó)家“863”計(jì)劃項(xiàng)目和國(guó)家自然基金（重點(diǎn)基金）項(xiàng)目研究成果的基礎(chǔ)上匯編而成，系統(tǒng)介紹了微米納米結(jié)構(gòu)和器件的幾何量、形貌測(cè)試表征方法以及微米納米器件的動(dòng)態(tài)特性、在線測(cè)試方法等，將一些最新觀點(diǎn)、最新成果涵蓋其中。本書可作為儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科以及相關(guān)學(xué)科專業(yè)研究生的基礎(chǔ)課程講義，主要目的是使學(xué)生對(duì)微米納米器件測(cè)試技術(shù)的基本知識(shí)有一個(gè)比較系統(tǒng)、全面的了解和認(rèn)識(shí)，培養(yǎng)他們對(duì)微米納米相關(guān)學(xué)科的興趣，為初學(xué)者提供一個(gè)微米納米器件測(cè)試?yán)碚搶W(xué)習(xí)的平臺(tái)。
第1章 微納測(cè)試技術(shù)概述
1.1 微納米技術(shù)
1.1.1 MEMS技術(shù)及其發(fā)展
1.1.2 NEMS技術(shù)及其發(fā)展
1.2 微納測(cè)試技術(shù)的研究
1.2.1 微納測(cè)試技術(shù)的重要意義
1.2.2 微納測(cè)試技術(shù)的研究?jī)?nèi)容
1.2.3 微納測(cè)試技術(shù)的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)
第2章 微納幾何量測(cè)試技術(shù)
2.1 顯微視覺測(cè)試技術(shù)
2.1.1 微納平面幾何參數(shù)測(cè)試
2.1.2 微納結(jié)構(gòu)的完整性檢測(cè)與分析
2.1.3 微納平面動(dòng)態(tài)特性的測(cè)量
2.2 接觸式三維形貌測(cè)試技術(shù)
2.2.1 掃描探針顯微鏡技術(shù)
2.2.2 近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡技術(shù)
2.2.3 掃描電子顯微鏡技術(shù)
2.2.4 透射電子顯微鏡技術(shù)
2.3 非接觸式光學(xué)三維形貌測(cè)試技術(shù)
2.3.1 激光掃描顯微測(cè)量技術(shù)
2.3.2 白光干涉形貌測(cè)試技術(shù)
2.4 微納坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)
2.4.1 基本原理
2.4.2 微納坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器
2.5 薄膜厚度測(cè)試技術(shù)
參考文獻(xiàn)
第3章 微納動(dòng)態(tài)測(cè)試技術(shù)
3.1 頻閃動(dòng)態(tài)視覺成像技術(shù)
3.1.1 頻閃成像原理
3.1.2 微納結(jié)構(gòu)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)特性測(cè)試設(shè)備
3.1.3 基于塊匹配和相位相關(guān)的微納平面運(yùn)動(dòng)測(cè)試技術(shù)
3.1.4 基于光流場(chǎng)的微納平面運(yùn)動(dòng)測(cè)試技術(shù)
3.2 頻閃顯微干涉測(cè)試技術(shù)
3.2.1 頻閃干涉視覺三維測(cè)量系統(tǒng)測(cè)試原理
3.2.2 系統(tǒng)光路
3.2.3 系統(tǒng)軟件
3.3 顯微激光多普勒測(cè)振技術(shù)
3.3.1 差動(dòng)多普勒測(cè)振技術(shù)
3.3.2 激光扭振技術(shù)
3.3.3 純扭振和純彎曲振動(dòng)的激光多普勒測(cè)量
3.3.4 激光多普勒顫振的測(cè)量
3.4 原子力顯微鏡測(cè)試技術(shù)
3.4.1 原子力顯微鏡的力學(xué)測(cè)試進(jìn)展
3.4.2 原子力顯微鏡微納米力學(xué)測(cè)試原理和方法
3.4.3 原子力顯微鏡微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)及參考懸臂梁法的彈性系數(shù)標(biāo)定
3.4.4 懸臂梁彈性系數(shù)測(cè)試的系統(tǒng)驗(yàn)證
3.4.5 原子力顯微鏡在納米計(jì)量上的應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
第4章 微納力學(xué)量測(cè)試技術(shù)
4.1 微結(jié)構(gòu)殘余應(yīng)力測(cè)試技術(shù)
4.1.1 殘余應(yīng)力概念
4.1.2 殘余應(yīng)力測(cè)量
4.2 微結(jié)構(gòu)軸向拉伸力學(xué)測(cè)試技術(shù)
4.2.1 傳統(tǒng)拉伸方法力學(xué)測(cè)試技術(shù)
4.2.2 轉(zhuǎn)換拉伸方法力學(xué)測(cè)試技術(shù)
4.2.3 集成拉伸方法力學(xué)測(cè)試技術(shù)
4.2.4 單軸拉伸位移的測(cè)量
4.3 納米壓入接觸力學(xué)測(cè)試技術(shù)
4.3.1 納米壓痕技術(shù)的基本原理
4.3.2 納米壓痕測(cè)試的基本原則
4.3.3 納米壓入技術(shù)的特點(diǎn)
4.4 彎曲法微納力學(xué)測(cè)試技術(shù)
4.4.1 彎曲梁法的分類及其原理
4.4.2 基于彎曲測(cè)試技術(shù)的微／納米梁力學(xué)特性的表征方法
4.4.3 彎曲法測(cè)試技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)
4.5 諧振法微納力學(xué)測(cè)試技術(shù)
4.5.1 諧振頻率法
4.5.2 共振頻率法
4.6 拉曼光譜應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)
4.6.1 拉曼散射現(xiàn)象
4.6.2 拉曼光譜儀應(yīng)力測(cè)試裝置
4.6.3 拉曼應(yīng)力測(cè)試?yán)碚撗芯?br>4.6.4 拉曼光譜應(yīng)力測(cè)試
4.6.5 軟件系統(tǒng)的搭建
4.6.6 實(shí)驗(yàn)測(cè)試
4.7 鍵合強(qiáng)度測(cè)試系統(tǒng)
4.7.1 鍵合強(qiáng)度測(cè)試機(jī)理
4.7.2 基于裂紋傳播擴(kuò)散法的鍵合強(qiáng)度測(cè)試系統(tǒng)
參考文獻(xiàn)
第5章 MEMS在線測(cè)試技術(shù)
5.1 基于體硅加工工藝的在線測(cè)試技術(shù)
5.1.1 體硅加工技術(shù)
5.1.2 基于體硅工藝的定位平臺(tái)
5.2 基于表面微機(jī)械加工工藝的在線測(cè)試技術(shù)
5.2.1 表面犧牲層工藝
5.2.2 基于表面加工工藝的多晶硅薄膜熱導(dǎo)率測(cè)試結(jié)構(gòu)
5.3 基于Polymer材料加工的在線測(cè)試技術(shù)
5.3.1 高分子（Polymer）材料概述
5.3.2 新型光敏聚酰亞胺微型閥
參考文獻(xiàn)
第6章 典型微納器件測(cè)試技術(shù)
6.1 MEMS壓力傳感器測(cè)試技術(shù)
6.1.1 MEMS壓力傳感器簡(jiǎn)介
6.1.2 MEMS壓力傳感器的原理及結(jié)構(gòu)
6.1.3 MEMS壓力傳感器的電氣性能測(cè)試
6.1.4 MEMS壓力傳感器的靜態(tài)測(cè)試
6.1.5 MEMS壓力傳感器的動(dòng)態(tài)測(cè)試
6.1.6 MEMS壓力傳感器影響量測(cè)試
6.1.7 MEMS壓力傳感器的可靠性測(cè)試
6.2 MEMS加速度傳感器測(cè)試技術(shù)
6.2.1 MEMS加速度傳感器簡(jiǎn)介
6.2.2 中低量程MEMS加速度傳感器的測(cè)試
6.2.3 高量程加速度傳感器的性能參數(shù)
6.3 RF MEMS測(cè)試技術(shù)
6.4 紅外與光學(xué)微納器件測(cè)試技術(shù)
6.4.1 紅外與光學(xué)成像系統(tǒng)
6.4.2 紅外光學(xué)成像測(cè)試
6.5 NEMS器件測(cè)試技術(shù)
6.5.1 納機(jī)電加速度傳感器測(cè)試
6.5.2 納機(jī)電聲傳感器測(cè)試
參考文獻(xiàn)
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