微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的發(fā)展突飛猛進，涵蓋的領域日漸寬廣，市場前景及對國民經濟的影響日益廣闊，人們對其原理、特性及規(guī)律的研究和認識也日趨深入。微機電系統(tǒng)的特征尺寸在微納米范圍，尺度上存在特殊性。但它并不是宏觀機電系統(tǒng)的簡單縮小，更不是微電子技術的簡單外延。在微納米尺度范圍內，微結構的力學行為并不完全相似于宏觀的結構，微機械的運動也并不完全相似于宏觀的機械。材料本身的特性在微納米尺度下也出現了新的值得探索的狀況和問題。事實上，微機電系統(tǒng)技術的難度核心主要不是表現在微電子方面，而是表現在微機械或微結構方面，表現在微機械(或微結構)與微電子的有機結合方面。微機械的運動、微結構的變形、電子與機械的能量轉換、微系統(tǒng)的智能控制等都是微機電系統(tǒng)的技術核心。而微機械的運動、微結構的變形、機械與電子的能量轉換、微系統(tǒng)的智能控制等卻更多地依賴于所處的力學環(huán)境。從力學的角度看，微納米尺度下的力學環(huán)境相對于宏觀尺度已發(fā)生了很大的變化。任何在宏觀系統(tǒng)中認為微不足道的因素都有可能成為微機電系統(tǒng)中的重要因素。因此，就當前的科技發(fā)展水平，系統(tǒng)地闡述微納米尺度下的力學特性、力學行為和力學規(guī)律是很必要的。
高世橋，1961年6月生，博士，教授，博士生導師，享受國務院津貼，德國洪堡基金獲得者�，F任教于北京理工大學宇航科學技術學院，從事非線性結構動力學、沖擊動力學及微機電技術研究。先后在國際、的重要學術刊物上發(fā)表論文80余篇。獲多項國家、省部級獎。
符號說明
緒論
第1章 微機電系統(tǒng)的發(fā)展與力學
1.1微機電系統(tǒng)的起源
1.2微機電系統(tǒng)的定義與內涵
1.3微機電系統(tǒng)的特點
1.4微機電系統(tǒng)的發(fā)展
1.5微機電系統(tǒng)的材料和微加工技術
1.6商品化的趨勢
1.7微機電系統(tǒng)對力學的需求
第2章物理基本力
2.1物質的構成
2.2物理基本力
2.3基本力的作用行程
2.4微機電系統(tǒng)中的力
第3章靜電力
3.1庫侖定律
3.2電場、電場強度
3.3 電勢
3.4電偶極子
3.4.1 電偶極子的電場
3.4.2 電偶極子電場的電勢
3.5電多極子與電勢的多極展開
3.5.1 單極子項
3.5.2偶極子項
3.5.3 四板子項
第4章電—磁力
4.1 洛侖茲力
4.1.1 帶電粒子在均勻磁場中的運動
4.1.2帶電粒子在非均勻磁場中的運動
4.2安培力
4.2.1安培力的定義
4.2.2安培力的微觀解釋
4.2.3 栽流導線在磁場中所受到的磁力
4.2.4載流線圈在磁場中所受到的磁力矩
4.2.5平行載流導線間的相互作用力
第5章范德瓦爾斯力
5.1偶極子產生的電場
5.2離子與偶極子間的相互作用能及作用力
5.3偶極—偶極相互作用
5.4角平均的偶極相互作用
5.5偶極—誘導偶極相互作用
5.6倫敦(IJ0ndon)—范德瓦爾斯(色散)力
5.7分子問總的范德瓦爾斯相互作用
5.8物體間的范德瓦爾斯力
第6章卡西米爾力
6.1卡西米爾力提出的背景
6.1.1“零點能量”及卡西米爾力的探索
6.1.2卡西米爾效應的進一步研究
6.2卡西米爾力
6.2.1 卡西米爾力
6.2.2卡西米爾效應
6.2.3卡西米爾力的量子力學闡釋
第7章微結構靜電場及電場力
第8章毛細力
第9章布朗力與噪聲
0章阻尼力
1章作用力的尺度效應和行程效應
2章結構力學的微尺度效應
3章微機械諧振陀螺的動力學特性
參考文獻
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