第1章 緒論
1.1 MEMS的發(fā)展
1.2 生化MEMS的發(fā)展
1.3 我國生化M。EMS的研究
1.4 本書的主要內(nèi)容
第2章 微型泵和微型閥
2.1 概述
2.1.1 微型泵和微型閥的應(yīng)用背景
2.1.2 微型閥的研究概況
2.1.3 微型泵的研究概況
2.2 關(guān)鍵體硅工藝研究
2.2.1 體硅各向異性腐蝕工藝
2.2.2 犧牲層腐蝕技術(shù)
2.2.3 深層重?fù)诫s自停止腐蝕技術(shù)
2.2.4 雙面光刻技術(shù)
2.2.5 凸角腐蝕補(bǔ)償
2.3 微型泵的工作機(jī)理
2.3.1 彈性薄板變形分析
2.3.2 壓電致動(dòng)
2.3.3 雙層壓電梁致動(dòng)分析
2.4 其他致動(dòng)方式
2.4.1 熱雙金屬致動(dòng)
2.4.2 靜電致動(dòng)
2.4.3 電磁致動(dòng)
2.5 微型閥的過流特性分析
2.5.1 引言
2.5.2 沿程損失
2.5.3 單晶硅微型閥的建模、仿真和測(cè)試
2.5.4 聚酰亞胺微型閥的建模、仿真和測(cè)試
2.6 微型機(jī)電系統(tǒng)的等效網(wǎng)絡(luò)分析方法
2.6.1 引言
2.6.2 微型泵的等效電路網(wǎng)絡(luò)模型
2.6.3 壓電致動(dòng)微型泵的性能仿真
2.6.4 壓電致動(dòng)微型泵的性能測(cè)試
參考文獻(xiàn)
第3章 微型懸臂梁生化傳感器
3.1 微型懸臂梁傳感器
3.1.1 微型懸臂梁傳感器的結(jié)構(gòu)與敏感機(jī)理
3.1.2 微型懸臂梁傳感器的應(yīng)用
3.2 微型懸臂梁傳感器的模型與設(shè)計(jì)
3.2.1 基本理論
3.2.2 連續(xù)層合薄板模型
3.2.3 非連續(xù)層合薄板模型
3.3 微型懸臂梁傳感器的制造方法
3.3.1 表面微加工技術(shù)
3.3.2 體微加工技術(shù)
3.4 微型懸臂梁生化檢測(cè)傳感器
3.4.1 化學(xué)傳感器
3.4.2 生物傳感器
參考文獻(xiàn)
第4章 基于MEMS的FAIMS檢測(cè)技術(shù)
4.1 FAIMS簡介
4.1.1 什么是FAIMS
4.1.2 FAIMS的研究背景
4.1.3 高場(chǎng)非對(duì)稱波形離子遷移譜的基本理論
4.1.4 FAIMS技術(shù)的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)
4.2 影響FAIMS的各種因素
4.2.1 離子在遷移區(qū)中運(yùn)動(dòng)的分析
4.2.2 離子在遷移區(qū)的分布
4.2.3 遷移管的響應(yīng)特性
4.2.4 遷移管的飽和電流
4.2.5 遷移管的阻抗
4.2.6 遷移管的功率
4.2.7 FAIMS的靈敏度和分辨力
4.2.8 重疊峰的解析
4.3 離子源設(shè)計(jì)
4.3.1 離子化方案選擇
4.3.2 電暈放電離子源
4.3.3 大氣輝光放電離子源
4.4 高壓高頻不對(duì)稱波形電源的設(shè)計(jì)
4.4.1 基于功率M()SFET的脈沖源系統(tǒng)方案
4.4.2 脈沖源系統(tǒng)各單元電路設(shè)計(jì)
4.4.3 開關(guān)電路的設(shè)計(jì)
4.4.4 功率M()SFET相關(guān)電路仿真
4.5 離子檢測(cè)
4.5.1 幾種常用的離子檢測(cè)方法
4.5.2 機(jī)械式法拉第筒設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)
4.5.3 微法拉第筒設(shè)計(jì)
4.5.4 微法拉第筒仿真
4.5.5 微法拉第筒工藝
4.5.6 微法拉第筒測(cè)試
4.6 樣品分析實(shí)驗(yàn)
4.6.1 FAIMS芯片實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)
4.6.2 方波射頻電壓幅值變化對(duì)FAIMS靈敏度的影響
4.6.3 射頻電壓幅值、頻率和載氣流速對(duì)2—戊酮FAIMS檢測(cè)結(jié)果的影響
4.6.4 FAIMS芯片檢測(cè)限實(shí)驗(yàn)
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第5章 基于MEMS的細(xì)胞操作與分析技術(shù)
5.1 概述
5.2 基于MEMS的細(xì)胞操作技術(shù)
5.2.1 細(xì)胞的操縱、分選和捕獲
5.2.2 細(xì)胞的注入
5.3 基于MEMS的細(xì)胞監(jiān)測(cè)與分析技術(shù)
5.3.1 基于微電極的細(xì)胞電阻抗監(jiān)測(cè)與分析技術(shù)
5.3.2 膜片鉗芯片細(xì)胞監(jiān)測(cè)與分析技術(shù)
5.3.3 其他MEMs細(xì)胞監(jiān)測(cè)與分析技術(shù)
5.4 納米技術(shù)在細(xì)胞操作與分析中的應(yīng)用
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